Bauteilreinigung für High Purity-Komponenten
Die Reinigung von Hochvakuum-Komponenten (UHV, XHV, UCV) welche beispielsweise Einsatz in Produktionsequipment für die Halbleiterindustrie (z. B. EUV- und DUV-Technologie) finden, vakuum-technische Lösungen für Wissenschaft, Forschung und Industrie, oder auch Hochleistungslasersystemen, stellen extrem hohe Anforderungen an die Sauberkeit der eingesetzten Komponenten. Spezifikationen für die feinstpartikuläre Sauberkeit bis in den Nanometer-Bereich sind hier an der Tagesordnung. Bei Oberflächenanalysen auf Rückstände anorganischer Stoffe können die noch zulässigen Werte je nach Bauteil im Atomprozentbereich liegen. Für diese Aufgabenstellungen in Hightech-Branchen entwickelt und fertigt Ecoclean optimal auf die Anwendung abgestimmte Reinigungslösungen. Sie gewährleisten, dass die geforderten Reinheitsgrade stabil, nachhaltig und effizient erreicht werden.
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Reinigungstechnologien für High Purity-Anwendungen
Als weltweit agierender Komplettanbieter deckt Ecoclean das gesamte Spektrum der industriellen Bauteilreinigung ab. Das Portfolio beinhaltet darüber hinaus Lösungen für die wässrige Oberflächenbearbeitung und maßgeschneiderte Automatisierung. Angepasst an die spezifischen Anforderungen und Anwendungen (Zwischen- oder Endreinigung bzw. Reinigung entsprechend Grade 4 bis Grade 1, Material, Bauteilgeometrie, Verunreinigungen und Sauberkeitsspezifikationen sowie Produktionsumgebung) der verschiedenen Hightech-Industriebereiche stehen verschiedene Anlagenkonzepte für die Chargen- und Einzelteilreinigung mit wasserbasierten Medien und umweltgerechten Lösemitteln zur Verfügung. Für High Purity-Anwendungen entwickelte Verfahrenstechnik wie Ultraschall Plus, Pulse Pressure Cleaning (PPC), Niederdruck-Plasma, Trocknung (z.B. Vakuum-, Infrarot- und/oder hochreine Warmlufttrocknung) sowie Medienaufbereitungssysteme sorgen für stabile Reinigungsergebnisse bei höchsten Anforderungen. Einen Beitrag dazu leistet auch die auf die sehr hohe Reinheits-spezifikationen abgestimmte Konstruktion und Ausstattung der Anlagen, beispielsweise speziell angepasste Materialien, Oberflächengüten und Verarbeitungstechnologien.
Umfassendes Knowhow für High Purity-Anwendungen
Um die sehr unterschiedlichen Aufgabenstellungen in Hightech-Branchen wie die Herstellung von Halbleiter-Produktionsequipment, Vakuumkomponenten, Hochleistungsmess- und -analysesystemen sowie Lasern mit ultrakurzer Wellenlänge anforderungsgerecht, nachhaltig und effizient zu lösen, ist einerseits umfassendes Technologie-Knowhow erforderlich. Andererseits setzt es Wissen über die Anwendungen und physikalischen Zusammenhänge voraus. Durch unsere langjährige Erfahrung in der Präzisionsreinigung sowie zahlreiche realisierte Projekte rund um den Globus verfügen wir über beides. Dies ermöglicht uns in Verbindung mit der umfangreichen Ausstattung unserer High Purity-Technologiezentren mit angebundenen Reinräumen und Testequipment für jede Aufgabenstellung Reinigungsversuche mit originalversschmutzten Teilen unter produktionsnahen Bedingungen durchzuführen. Diese Machbarkeitsstudien ermöglichen, auf Basis von Material, Bauteilgeometrie, Verschmutzung, Sauberkeits- und Durchsatzanforderungen flexible, technisch und wirtschaftlich optimale sowie zukunftsfähige Reinigungsprozesse und -lösungen auszulegen – auf Wunsch inklusive Automatisierung, Validierung Reinigungsbehältnis und/oder Reinraum. Und das auch für die immer größer werdenden Komponenten, die heute noch manuell gereinigt werden.
