- Komponenten für die EUV- und DUV-Lithographie
- Wafer Scanner
- Depositing-Systeme
- Hochvakuum-pumpen, -Ventile
- Komponenten für Hochleistungslaser (High-Power Ultra-Short-Wavelength)
- Komponenten für Hochleistungsmess- und -analysesysteme, z. B. Gaschromatographen, Elektronenrastermikroskope, Massenspektrometer
